光纤激光器封装氦质谱检漏

详细介绍

光纤激光器是指用掺稀土元素玻璃光纤作为增益介质的激光器，光纤激光器可在光纤放大器的基础上开发出来的。光纤激光器由于光束质量好、传输高效率、散热特性好、结构紧凑，可靠性高等优点广泛应用在各行各业，包括激光光纤通讯、激光空间远距通讯、工业造船、汽车制造、激光雕刻激光打标激光切割、金属非金属钻孔/切割/焊接（铜焊、淬水、包层以及深度焊接）、军事国防安全、医疗器械仪器设备及作为其他激光器的泵浦源等等。

多层陶瓷-金属蝶形管壳作为一种新的结构与封装形式，是以多层陶瓷作绝缘材料，由于其散热性能好，电磁干扰低，电气特性与气密性好，可靠性高等优点广泛应用在光纤激光器及激光泵浦的外壳封装上。通常封装后的器件都需要通过氦质谱检漏仪来进行气密封性测试。由于封装器件为全密闭件，业内都是采用氦质谱背压法进行检漏。先将产品放入承压容器(压氦罐)中通入氦气进行压氦，保压一段时间后取出产品放入真空检漏罐中检漏，整个过程操作简单，工艺成熟可靠。