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在全密封电子元器件检漏中,经常使用高沸点氟油和低沸点氟油作试验液体来检粗漏。将被检元器件放入压力容器中,容器密封后先抽到一定真空,保持一段时间;在真空条件下注入低沸点氟油(轻氟油)、淹没工件,并用氮气对其加压一定时间;加压完毕,对压力容器缓慢卸压,取出被检件,在空气中干燥一小会;然后浸入已加热到125℃的氟油(重氟油)观察一段时间。若发现被检件有连续的小气泡或个别大气泡冒出,则可判定为不合格。
它与氦质谱检漏仪配合使用,能够完成GJB360A-96、GJB548-96A和GJB128A-97标准中规定的对电子和半导体器件的精检漏和粗检漏要求。
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