镀膜设备氦质谱检漏

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韩国某公司作为全球OLED屏幕主要技术供应商，以高真空技术及纳米薄膜工程技术为基础（尤其是其在OLED领域具备的技术特色以及先进的溅射镀膜工艺）。主要生产镀膜设备有：显示芯片以及为产业用薄膜沉积的溅射装备；OLED芯片以及材料开发用有机与无机沉积封装设备；大面积真空物流系统以及纳米薄膜镀膜工程开发服务以及溅射用合金靶等。

作为高真空镀膜设备，其出厂、安装、维护都离不开氦质谱检漏仪。由于半导体行业生产需要高洁净度，通常镀膜设备都是选用干泵型的氦质谱检漏仪来满足设备的出厂安装以及维护需要，主要采用负压喷氦法来查找设备可疑泄漏点。

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关键词：真空检漏,氦质谱检漏仪,镀膜机检漏

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