特气管道（氢气）氦质谱检漏

详细介绍

半导体工厂特气管道（氢气）氦质谱检漏

合肥某半导体厂的特气管道中有大量工艺氢气管道，特点是管道长度较长且连接处众多。为了防止氢气在运输过程中泄露造成的经济损失和安全隐患，对氢气管路进行氦检漏非常有必要。

本项目采用安徽歌博品牌的A530型氦质谱检漏仪，使用负压喷氦法检漏。具体检测方法是：因管路较长且管径较细，将氢气管路分段密封好，然后对管路抽真空。抽真空时需检测抽空接口的密封性是否良好。当氦检仪所显示的本底值达到要求后，逐段在管路表面喷吹氦气，观察氦检仪的读数是否上升，如果读数上升意味着有管路有漏，对泄露处进行修补后继续进行检测。直至所有管路检查完毕。