氦质谱检漏仪工作原理

发布日期：2023-06-26 作者：admin 点击：

氦检漏仪，也称为质谱检漏仪（MSLD），用于定位和测量进入或离开系统或容器设备的泄漏。将示踪气体氦气引入与检漏仪连接的测试部分。氦气通过测试部件泄漏进入系统，测量分压并显示在压力表上。

氦检漏仪由以下几部分组成：

1. 用于检测氦质量的光谱仪。

2. 用于维持分光计压力的真空系统。

3. 用于抽真空待测部件的机械泵。

4. 支持各种测试阶段的阀门:抽真空，测试和排气。

5. 放大器和读出仪器，用于监测输出信号。

6. 电源和控制。

7. 将待测零件连接到检测器的夹具上。

氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪也叫气密封性能测试仪将根据压差的变化来测量工件的比泄漏量，进而判断被测工件是否合格，并将信息传送给操作人员。由于标准产品和被测工件的形状、尺寸相同，在测试过程中两端的外部环境条件完全相同，这种测试方法可以消除温度、振动等环境因素的影响，获得高精度的测量结果。差压式密闭仪表与直压式检测操作过程的不同，主要是在相同的工艺和状态条件下，以“标准品”为参照。

氦质谱检漏仪适用于真空行业，仪器仪表行业、管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各种排气装置、电子显微镜、质谱仪、电子束离子速度曝光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐射加速器、镀膜机、薄膜真空计等。铀分离装置、贮存装置、核能发电装置。制冷行业的冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、以及低温储罐等。

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