检漏干货：实漏、虚漏、外漏、内漏的区分

大部分真空系统的表现会随时间的推移而变化，特别是用于生产的真空设备，几乎不可避免地会发生真空度下降等问题，造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。

在真空技术领域中，氦检漏技术因其高灵敏度、高精度和可靠性而被广泛应用。然而，在进行氦检漏时，正确区分实漏、虚漏、外漏和内漏对于准确判断泄漏情况至关重要。本文将详细解析这四种泄漏类型的区别和识别方法。

一、实漏与虚漏

实漏是指真空系统内部确实存在的物理泄漏点，氦气能够通过这些泄漏点从系统内部逸出。实漏通常是由材料缺陷、密封件老化、安装不当等原因造成的。在氦检漏过程中，如果检测到氦气泄漏信号，并且该信号稳定且可重复，那么很可能是实漏。

虚漏则是指由于某些非物理原因导致的氦气泄漏信号，如检测设备的误报、环境因素干扰等。虚漏信号通常不稳定、不可重复，或者与实漏信号存在显著差异。为了避免虚漏的干扰，需要确保检测设备正常运行，并严格控制检测环境。

二、外漏与内漏

外漏是指氦气从真空系统外部通过泄漏点进入系统内部，这种情况通常发生在系统的密封件、连接处等位置。外漏会导致系统内部氦气浓度升高，从而影响系统的真空性能。在氦检漏过程中，如果检测到系统内部氦气浓度异常升高，且该异常与检测设备的操作无关，那么很可能是外漏。

内漏则是指氦气在真空系统内部不同部分之间通过泄漏点相互传递。内漏通常发生在系统的管道、腔体等位置。由于内漏发生在系统内部，因此很难直接检测到氦气泄漏信号。然而，内漏会导致系统内部不同部分的氦气浓度分布不均，从而影响系统的稳定性和性能。在氦检漏过程中，如果发现系统内部不同部分的氦气浓度存在差异，且该差异与系统的设计和操作无关，那么很可能是内漏。

下图是一个典型的扩散泵抽气机组，罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的，如果该阀门关闭不严，高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏，这种泄漏就是内漏。和外漏类似，内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。

三、区分方法

为了准确区分实漏、虚漏、外漏和内漏，可以采取以下措施：

(1)使用高精度、高灵敏度的氦检漏仪进行检测，确保检测结果的准确性和可靠性。

(2)严格控制检测环境，避免环境因素对检测结果的干扰。

(3)对检测到的泄漏信号进行仔细分析，判断其是否稳定、可重复，并与实漏信号进行对比。

(4)结合系统的设计和操作情况，分析泄漏信号的可能来源，确定是否存在外漏或内漏。

（此处可插入图片：展示氦检漏仪的工作原理、泄漏点示意图、系统内部氦气浓度分布图等，以辅助解释和说明。）

四、结论

在真空氦检漏中，正确区分实漏、虚漏、外漏和内漏对于确保系统的真空性能和稳定性至关重要。通过采取合适的检测方法和分析手段，可以准确判断泄漏情况，为系统的维修和改进提供有力支持。

安徽歌博科技氦质谱检漏仪氦检精准度高，响应速度快，安全性高，适应度广，小巧便携，方便移动，无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，都具有独特优势!